Появление тактильных датчиков, предназначенных для геометрического распознавания предметов окружающего пространства, обусловлено развитием робототехники. Основная тенденция в области создания тактильных датчиков – воспроизведение  осязательных свойств человеческой кожи. Этой тенденции в наибольшей степени удовлетворяют тактильные устройства матричного типа, так как каждая ячейка матрицы, представляющая собой микроэлектронный датчик силы (или деформации, момента), дает конкретную информацию, а все вместе позволяют сформировать целостное представление о форме предмета. Конструкторские и технологические разработки тактильных датчиков находятся на начальном этапе развития, еще не выработаны технические требования и не определен перечень их характеристик.

   Исследователи Кливлендского университета (США) считают, что современный тактильный датчик для робота должен обладать такими свойствами : высокой чувствительностью, способность воспринимать давление (силу), преобразовывать его в электрические сигналы, позволяющие определить форму и материал предмета, т. е. распознавать образы; высоким пространственным разрешением, соответствующим восприимчивости пальцев человека (пространственное разрешение человеческой кожи 2 мм); достаточное  для сварочных или сборочных роботов в машиностроении, а также для роботов, применяемых в микрохирургии и микроэлектронике; хорошими линейными характеристиками (допустимы лишь отклонения, компенсируемые при обработке сигнала на ЭВМ); незначительным гистерезисом; устойчивостью к перегрузкам и тяжелым условиям работы; небольшим размерам и массой; невысокой стоимостью.

    Это может быть обеспечено при использовании в процессе разработки и производства тактильных датчиков микроэлектронной твердотельной технологии, обладающей широкими возможностями миниатюризации и формирования средств обработки сигнала на одном чипе с чувствительный элемент (ЧЭ) как, например в датчике, созданном специалистами университета Карнеги-Меллон.

   Тактильные датчики на интегральных схемах с применением кремния, кварца и поликристаллической керамики могут обеспечить измерения в диапазоне 0.01-40 Н (т.е. динамический диапазон составляет 4000:1). Особенное распространение получили кремниевые датчики благодаря высокой плотности расположения ячеек в матрице ЧЭ, надежности, низкому гистерезису, выносливости и небольшой стоимости.

   Исследователи Стенфордского университета предложили для формирования ЧЭ тактильных датчиков гибкую полоску толщиной 200-400 мкм. На полиамидной подложке располагаются кремниевые кристаллы, каждый из которых образует интегральную схему. «Островки» кристаллов соединяются золотыми проводниками, нанесенными методом фотолитографии. Датчики с ЧЭ из такой кремниевой ленты обеспечивают измерение «касания» в диапазоне 0-40 000 Па с чувствительностью 67 Па. В более узком диапазоне 5000-7000 Па чувствительность можно повысить до 13 Па.

   Для выполнения ЧЭ пьезорезистивных тактильных датчиков используются различные материалы, например волокна углерода (графита). Пучки из нескольких тысяч волокон характеризуются высокими прочностью на растяжение, электропроводностью и гибкостью. При соответствующем подборе размеров пучка и подложки элементы могут воспринимать давление от 1 Па да десятков мегапаскалей. Они просты в изготовлении и относительно недороги.

   Применяется также электропроводный эластомер на основе силиконовых каучуков с наполнителем (графитом, сажей, металлическим мелкодисперсным порошком). Анизотропная электропроводность эластеров дает возможность варьировать токопроводящие  пути и места расположения контактов между электродами. Недостатки таких ЧЭ являются восприимчивость к электрическим помехам, нелинейность, значительный гистерезис, низкая чувствительность при существенной погрешности, малое быстродействие, довольно низкий порог усталости.

   Применение волокон углерода и силиконовых эластомеров способствует миниатюризации пьезорезистивных датчиков, делает технологию их изготовления сравнимой с технологией изготовления интегральных схем. Эти датчики рассчитаны на широкий диапазон измерения и допускают значительные перегрузки.

   Для изготовления резиновых мембран с рельефом сложной конфигурации и точным геометрическим профилем были использованы кремниевые литейные формочки, выполненные методом травления. Применение таких фасонных мембран позволило значительно улучить точность тактильных датчиков.

   Пьезорезистивные тактильные датчики с матричными чувствительными элементами разрабатываются различными лабораториями США (Jet Propulsion Laboratory, Artificial Intelligence Laboratory MJT) и Франции (Laboratoire d’Automatique et d’Analyse des System).

   Югославские и французские исследователи работают над совместным проектом создания руки робота, на которой будет смонтирован датчик с ЧЭ из электропроводной резины, покрытой тонким слоем краски.

   Фирма Barrity Wright Corp. (США) недавно выпустила два резистивных датчика из эластомеров – размером 10х20 мм с матрицей 8х16 ячеек и размером 40х40 мм с матрицей 16х16 мм ячеек.

   Совместно с Токийским университетом фирмой Yokohama Rubber Co. (Япония) разработан датчик из электропроводной резины толщиной менее 1 мм. Размеры трехслойного ЧЭ 4х4 или 8х8 мм. Датчик фиксирует силу и место ее приложения. Он смонтирован на созданном фирмой роботе, который оперирует деталями массой от 30 г до нескольких килограммов.

   В Варвикском университете (США) сконструирован тактильный датчик на основе ЧЭ из углеродных волокон, нанесенных для эластичности на плоскую гибкую ленту. Произвольное пересечение волокон обеспечивает изменение сопротивления в широких пределах, однако закономерность этого изменения под воздействием давления от нуля до максимума не обнаружена.

   В Пенсильванском университете (США) разработан тактильный датчик с пьезорезисторами, изолированными от окружающей среды, что позволило повысить стабильность датчика во времени, уменьшить дрейф нуля, повысить устойчивость к электростатическим напряжениям.

   Материалом для ЧЭ пьезоэлектрических датчиков служит полимеры, например поливинилиденфторид-2 (PVF2 или PVDE), обладающие хорошими механическими и химическими свойствами. Поскольку деформация этих материалов под действием давления незначительна, для достижения пространственного  разрешения, сравнимого с восприимчивостью пальцев человека, ЧЭ устанавливается на подложку из эластичного полимера. Он может монтироваться как на плоскости, так и на поверхности сложной конфигурации. Диапазон измерения пьезоэлектрических датчиков достаточно широк при допустимых для материалов ЧЭ напряжениях сжатия 80 МПа, растяжения 50 МПа.

   В Пизанском университете (Италия) создан пьезоэлектрический датчик, образованный слоем PVF2 на гибком слое резистивной краски, сопротивление которой стабилизируется при 37 С. По разнице поглощения тепла обеими слоями идентифицируются различные материалы, из которых выполнены предметы. Линейность датчика 1 %. Следует отметить, что введение второго слоя вызывает увеличение гистерезиса.

   Несмотря на нежелательную во многих случаях температурную чувствительность, исследователи Пизанского университета используют ЧЭ из PVF2 в тактильном датчике, являющимся продолжением пальца робота с четырьмя степенями свободы. Конструктивно датчик представляет собой полый цилиндр диаметром 28 и длиной 40 мм. Внутри его проходит тонкий коаксиальный кабель, к которому припаяны 35 электродов, организованных в матрицу 5х7 ячеек. Благодаря высокой чувствительности датчик за несколько мкс определяет смещение объекта на сотни микрометров.

   В последние время получили развитие тактильные датчики, основанные на изменении оптических свойств материала под действием приложенной